En la industria de los semiconductores existen numerosos medios para depositar revestimientos sobre las obleas. Estas capas de recubrimiento necesitan después tratamientos posteriores tanto para su activación y modificación como para liberar la tensión del material y mejorar las propiedades de las películas. El procesamiento térmico rápido (RTP) y el recocido térmico rápido (RTA) se utilizan a este respecto e implican un calentamiento y enfriamiento muy controlados de las obleas. La exposición térmica de la oblea debe mantenerse al mínimo en estos procesos (lo que se conoce como presupuesto térmico).
A medida que las geometrías de los dispositivos siguen reduciéndose, esto adquiere una importancia aún más crítica. Los termopares de alta temperatura («exóticos» ) con aislamiento mineral (MI) de Kamet pueden desempeñar un papel crucial en la supervisión minuciosa de las temperaturas de funcionamiento, mientras que nuestros elementos calefactores con aislamiento mineral pueden ayudar en el control preciso de la temperatura.
RTP y RTA
El procesamiento térmico rápido (RTP) se desarrolló para minimizar la exposición de una oblea a un exceso de energía térmica diseñando un tiempo de proceso lo más corto posible. El calentamiento rápido se consigue mediante lámparas IR, lámparas halógenas, láser o calentadores eléctricos. Las 3 principales áreas de aplicación del RTP son:
- El proceso de activación: El proceso por el que un semiconductor se convierte en un material conductor. En este proceso, las impurezas se introducen en el transistor y se activan o se desplazan a los lugares deseados utilizando altas temperaturas durante un breve periodo de tiempo.
- El proceso de modificación del material: La formación de contactos de transistor. En la fabricación de contactos de transistor, el RTP se utiliza para convertir un material, por ejemplo el níquel platino, en un monosiliciuro de níquel más robusto y de baja resistividad que ayuda a mejorar las propiedades del contacto.
- Mejorar las propiedades de la película. En este caso, el RTP puede utilizarse para densificar las películas, lo que hace que la película sea más robusta y esto mejora el rendimiento del dispositivo.
El recocido térmico rápido (RTA) es un tipo específico de RTP utilizado para afectar a las propiedades eléctricas de la oblea.
Para estos procesos, se desean temperaturas muy altas para obtener buenos resultados, sin embargo, las obleas no pueden exponerse a un calor elevado durante un largo periodo de tiempo por diversas razones (por ejemplo, difundiría demasiado los dopantes). Actualmente, los recocidos típicos que se utilizan para la activación de dopantes no duran más de un par de segundos.
¿Qué soluciones de calefacción y temperatura ofrece Kamet para RTP y RTA?
En el procesamiento térmico rápido (RTP) y el recocido (RTA), la medición y el control precisos de la temperatura son extremadamente difíciles. Kamet ofrece componentes personalizados para facilitar ambos aspectos de este proceso crítico.
- Nuestros termopares de alta temperatura están diseñados específicamente para garantizar tiempos de respuesta rápidos y mediciones precisas en entornos exigentes.
- Nuestros calentadores de obleas con aislamiento mineral (cable MI) pueden utilizarse para calentar obleas de manera uniforme en sistemas RTP. Nuestros calentadores cable MI pueden calentar hasta 1000°C rápidamente y pueden funcionar a niveles de tensión normales (120V – 230V) y a niveles específicos de baja tensión. De este modo, no se necesitan convertidores eléctricos.
- Los microcalentadores pueden ser una pequeña solución de calentamiento diseñada a medida para el PVD.
Los diseños de termopares y calefactores de Kamet son totalmente personalizables para adaptarse a cada entorno de aplicación concreto.
¿Cuáles son las ventajas de utilizar termopares de alta temperatura para RTP y RTA?
- Lecturas extremadamente precisas incluso a altas temperaturas
- Calibración adecuada de los pirómetros
- Tiempos de respuesta rápidos
- La personalización completa del termopar y la vaina con aislamiento mineral garantizan una adaptación perfecta incluso al entorno más duro.
- Contribuye a una buena replicabilidad del proceso
- Los termopares de película fina en oblea pueden medir la temperatura de toda la superficie sin la transferencia de calor que se produce cuando se utilizan termopares de alambre
- Soluciones rentables
- Puede doblarse para adaptarse a espacios intrincados
- Calidad de primera clase de nuestro socio a largo plazo, ARi con 60 años de experiencia
- Disponemos de ensayos no destructivos para una mayor garantía de calidad
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