Calentadores de obleas

Kamet ofrece soluciones de calentamiento de alta gama para diversas aplicaciones de procesamiento de obleas en las industrias de semiconductores, incluidos los sistemas de deposición de películas finas (por ejemplo, CVD, PVD, ALD). En colaboración con ARi, ofrecemos calefactores de obleas con aislamiento mineral (también conocidos como calefactores de sustrato o calefactores de platina) adaptados a condiciones críticas y con especificaciones a la altura de las excepcionales y variadas exigencias de estos procesos. Los calentadores de sustrato totalmente personalizados suelen ser la mejor solución, aunque también ofrecemos una gama de calentadores de disco estándar. Sea cual sea la elección del cliente, puede confiar en nuestros productos y asesoramiento para mejorar la estabilidad general del proceso garantizando una uniformidad óptima de la temperatura.

Resumen del producto

  • Uniformidad óptima de la temperatura
  • Adecuada para procesos térmicos de hasta 1000°C
  • Control preciso de las temperaturas de proceso
  • Reducción del riesgo de contaminación
  • Conexiones electrónicas selladas herméticamente
  • Integridad del vacío garantizada mediante la comprobación de fugas de helio

Tipos de calentadores de obleas

La elección del calentador de obleas (con aislamiento mineral) viene determinada por la aplicación requerida. Debido a la naturaleza altamente especializada y crítica de los procesos de deposición de películas finas, nuestras soluciones de calentamiento suelen personalizarse para tener en cuenta todos los parámetros del proceso y el resultado final requerido. Nos centramos en las siguientes categorías de calentadores:

  • Una gama de calentadores de disco estándar
    • de 5 cm a 16 cm de diámetro
    • disponibles con un soporte universal, que permite al cliente roscar o soldar el disco en sus accesorios particulares
  • Calentadores de sustrato/placa a medida
    • diseñados junto con el cliente para adaptarse exactamente al entorno de la aplicación en lo que respecta a factores como el tamaño, la forma y el material de la funda

Sea cual sea la elección de calefactor que haga en Kamet, la alta calidad de nuestros productos y la experiencia de nuestros asesores permiten garantizar la uniformidad térmica, tan crítica en los sistemas de deposición de películas finas.

Technical drawing of an MI wafer heater

¿Para qué se utilizan los calentadores de obleas?

Los calentadores de obleas se utilizan principalmente en los sistemas de deposición de películas finas, sobre todo en las industrias de semiconductores, pero también en paneles solares, nanotecnologías, sistemas de deposición de películas finas, así como en litografía, recocido e industrias de dispositivos ópticos. En estos procesos al vacío, se aplican revestimientos ultrafinos (a veces de sólo unos átomos de grosor) a una superficie en el vacío. Se utilizan varias técnicas, todas las cuales requieren diferentes elementos de calentamiento del sustrato con propiedades y diseño que se ajusten tanto a la temperatura de funcionamiento como al tipo de material que se deposita.

Nuestros calentadores de obleas se utilizan en los siguientes procesos:

Los calentadores de obleas pueden afectar directamente a las propiedades de la película depositada, incluso influir en la adherencia y las reacciones químicas. Son fundamentales para garantizar la uniformidad del calentamiento de modo que la película fina se deposite uniformemente.

Especifi­caciones y propie­dades físicas

En su esfuerzo por garantizar un calentador de obleas perfectamente adaptado a cada aplicación, existen una serie de variables y especificaciones que el especialista de Kamet y/o ARi tendrá en cuenta:

  • Los distintos tipos de elementos calefactores de sustrato se presentan en una gama de formas, tamaños y longitudes (personalizables).
  • Las conexiones eléctricas están selladas herméticamente. La elección del sellado depende del nivel de vacío y de la presencia de productos químicos/contaminantes.
  • ARi garantiza la integridad del vacío mediante una comprobación de fugas con helio.
  • Disponemos de bridas de vacío (juntas tóricas) para conectar los cables de alimentación y de los sensores fuera del vacío. Nuestros conectores de calentamiento de metal a cerámica también son accesorios útiles a tener en cuenta en este sentido.
  • Las secciones de calor caliente y frío son personalizables.
  • Puede suministrarse una funda exterior soldada para minimizar la contaminación en entornos peligrosos. Por ejemplo, de acero inoxidable o Inconel 600.
  • Pueden incluirse termopares internos para controlar con precisión el calor que se genera.

Todas estas posibilidades significan que podemos suministrar calentadores de obleas resistentes a entornos oxidantes, inertes, reductores y de (alto) vacío. La amplísima gama de temperaturas de nuestros calentadores de obleas con aislamiento mineral los hace adecuados para todos los procesos de deposición, incluso hasta 1000°C. Además, los calentadores de obleas tienen una gran capacidad de respuesta y una excelente resistencia mecánica gracias a su revestimiento. En ARi Industries se cumplen estrictos requisitos de pruebas de calidad.

Calentadores de mandriles y calentadores de obleas

Un mandril para obleas es esencialmente una herramienta utilizada para sujetar y asegurar las obleas semiconductoras durante el proceso de fabricación. Un calentador de mandril es un calentador de obleas, con los mecanismos necesarios para mantener la oblea en su sitio durante el calentamiento. El objetivo principal de un calefactor de mandril es garantizar que la oblea esté a la temperatura óptima para procesos específicos como la deposición, el grabado, la fotolitografía y el recocido.

Los calentadores de mandriles se integran en los mandriles para obleas de varias formas. Por ejemplo, con elementos calefactores incorporados. Se trata de elementos calefactores que se incorporan directamente al cuerpo del mandril. Pueden proporcionar un calentamiento uniforme en toda la superficie del mandril, lo que es fundamental para mantener la oblea a una temperatura uniforme.

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Calidad y servicio de Kamet

La gama de calentadores de obleas de Kamet es suministrada por ARi industries de EE UU. Cuentan con décadas de experiencia en el mundo de la calefacción y son uno de nuestros socios más antiguos. La asociación que Kamet ha desarrollado con ARi industries garantiza una asistencia técnica completa para diseñar soluciones de calentamiento a medida o ajustar la gama actual a las exigencias de una aplicación concreta.

De hecho, una de las razones por las que Kamet Heating suministra a las principales empresas de semiconductores de Europa, es porque apoyamos activamente el desarrollo de productos de calentamiento nuevos y a medida. En lo que respecta específicamente a los calentadores de sustratos, donde la uniformidad de la temperatura es crucial, la investigación de ARi es continua, con mejoras constantes en las soluciones de uniformidad térmica (por ejemplo, zonas múltiples o esparcidores de calor de sustrato a medida).

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Example of a Wafer (heater)