Existen varios procesos de vacío utilizados para crear la deposición de películas finas (revestimientos) de metal, aleaciones y no metales. Esto puede lograrse por medios mecánicos, electromecánicos o termodinámicos. Los calentadores de vacío con aislamiento mineral (AM) de Kamet tienen un amplio campo de aplicación en los sistemas de deposición.
¿Qué es el depósito físico en fase vapor (PVD)?
En la deposición física de vapor (PVD), los metales y aleaciones se evaporan desde una fuente y los átomos, iones o moléculas se depositan sobre la superficie del sustrato mediante evaporación térmica, pulverización catódica o haz de electrones (e-beam). La elección de la técnica depende del tipo específico de material que se vaya a depositar.
Pulverización catódica por magnetrón
- Utiliza un plasma generado eléctricamente entre la fuente y el sustrato (calentado) (normalmente vidrio).
- Adecuado para
- Óxidos metálicos conductores transparentes: a menudo se utilizan InSnO o ITO
- Metales con un punto de fusión alto como Au, Pt, Ti, Cr
Evaporación E-Beam
- Un imán acelera los electrones en un haz intenso utilizado para calentar el material para su evaporación.
- Logra revestimientos densos de gran pureza sobre el sustrato (calentado).
- Se utiliza para la deposición de materiales que no pueden conseguirse mediante la evaporación térmica estándar debido a su baja conductividad térmica.
Evaporación térmica
- La forma más común y sencilla de deposición
- Requiere condiciones de deposición de alto vacío (10E-5 mbar y superiores)
- Un elemento calefactor resistivo lleva el material fuente en un bote resistivo a su punto de ebullición
- Las moléculas vaporizadas forman una fina película de deposición (recubrimiento) sobre el sustrato.
- Puede utilizarse para casi todos los revestimientos inorgánicos, así como algunos orgánicos, sobre una amplia variedad de sustratos
- Más respetuoso con el medio ambiente
- Permite la deposición de alta pureza a partir de material fuente de alta pureza (muy poca contaminación debido al alto vacío).
¿Qué soluciones de calentamiento ofrece Kamet para el PVD?
Los calentadores de obleas Kamet son un componente importante en el sputtering por magnetrón. También podemos personalizar nuestros calefactores de sustrato (también conocidos como calefactores de mandril o calefactores de muestra) para satisfacer requisitos de proceso específicos. Por ejemplo, la fundición de un elemento calefactor con aislamiento mineral en el mandril calefactor para superficies de PVD. Los microcalentadores son otra pequeña solución de calentamiento diseñada a medida para PVD.
De hecho, la fuerza de Kamet reside en ofrecer soluciones extremadamente precisas, personalizadas y adaptadas a las necesidades específicas de gama alta de nuestros clientes en la industria de los semiconductores. Para este tipo de proyectos también colaboramos estrechamente con los especialistas de nuestra empresa asociada, ARi, que suministran nuestros calentadores AM.
¿Cuáles son las ventajas de utilizar elementos calefactores con aislamiento mineral para el PVD?
- Temperaturas de hasta 1000°C
- El aislamiento mineral garantiza que los elementos calefactores sean adecuados
- a atmósferas exigentes (vacío, gases inertes)
- resistencia química
- excelente resistencia dieléctrica
- Hay disponibles materiales de revestimiento personalizados para adaptarse a cualquier entorno
- Transiciones sin fisuras entre las secciones caliente y fría de los calentadores
- Las secciones caliente y fría tienen diámetros iguales
- La terminación es sencilla gracias a los extremos fríos que evitan el sobrecalentamiento
- Adecuado para alta densidad de potencia
- Uniformidad de la distribución del calor a una fuente, oblea, objetivo o sustrato
- Un gran radio de curvatura hace que los elementos calefactores sean adecuados para aplicaciones intrincadas y curvas
- Calentamiento preciso para procesos críticos
- Son posibles diseños más delgados y de menor masa.
- Tiempos de calentamiento rápidos
- Los elementos calefactores sellados evitan la contaminación
- Se pueden incluir termopares en el diseño
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